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电子半导体石墨制品应用

发布时间:2022-10-04 点击次数:3575

作为低原子序数材料,对离子、等离子具有较强的抗轰击能力,纯度高没有金属离子不会对半导体产生污染。 用于等离子cvd用部件 等离子cvd用感受器、电极室、喷嘴、内衬、溅射用电极、mocvd感受器等



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